gmj001 发表于 2009-6-10 11:34:18

多晶硅生产中几个地方用到高纯氢气？

因为不懂这个行业，所以问问。
哪一步需要用到高纯氢气？一般都是电解水制的氢气吗？氢气达什么标准？听到有人说氢气还要回收提纯，又是怎么回事啊？

mao12345 发表于 2009-6-11 17:10:01

还原和氢化都要用高纯氢气，一般都是用电解制氢，露点零下65度以下，杂质含量3个PPM以下。由于转化率比较低，氢气大部分都浪费了，所以为了降低成本现在大多采用CDI回收技术。

zsyd1982 发表于 2009-6-12 11:18:54

除了还原和氢化外，尾气回收单元设备装置的氢气置换，吸附塔设备的再生也需要高纯氢气，在尾气回收单元开车前，高纯氢气的用量是很大的。

风员外 发表于 2009-6-12 11:49:43

LS说的很好

情合赢 发表于 2009-11-27 15:15:31

氢气的指标
电解氢：纯度99.8%
回收氢：纯度99.9%，
杂质含量：N2＜10vppmHCl＜1vppmSiH2Cl2＜1vppm
SiHCl3＜1vppmSiCl4＜1vppm
还原车间用氢除了和三氯氢硅混合外，还有视孔上用氢，防止硅油模糊镜片；
氢化单元要用氢，和四氯化硅混合，还有单炉停炉时的置换氢；
CDI那边也要用到。
数据来的不容易，加点分啊，谢谢了。
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