350664009 发表于 2009-12-8 21:09:13

停炉新发现

最近硅棒出炉时，总会发现石墨座和陶瓷环的 一侧会有褐红色的物质生成，陶瓷特严重，有的都渗入陶瓷内，请教各位坛友，这种褐红色的东西是什么物质？什么原因造成？而且分布也基本是在相同位置。

非凡人生 发表于 2009-12-8 22:39:46

那东西可能是因为石墨座子比较潮湿的原因，沉积过程中会在其上面生成一层SiO2层

情合赢 发表于 2009-12-9 09:12:49

是不是因为你们那个气液混合气喷入炉子之前没有汽化彻底，温度低了，使三氯氢硅液体进入炉子，从而在较高温度下生成你所说的褐红色物质。我们有过这样的情况哦。
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