xiaoqing86
发表于 2009-12-2 15:48:22
SiHCl3中杂质硼的分析方法
请问多晶生产过程中，SiHCl3中杂质硼的含量该怎样检测分析？谢谢
aquilani
发表于 2009-12-2 16:33:20
有的厂家好像用ICP-MS
rammstein
发表于 2009-12-2 19:15:10
应该是区熔检验吧，是运用挥发 分凝等物理方法，定量分析多晶硅中磷 硼的含量的
xiaoqing86
发表于 2009-12-4 11:02:29
3# rammstein
请问能说详细点吗？
piaowu0335
发表于 2009-12-9 15:21:36
质谱分析，ICP-MS，
页:
[1]