多晶硅精馏工艺 懂的进来聊聊
多晶硅精馏工艺过程中,替代三氯氢硅浓度的间接质量指标是什么?温度还是其他?是不是双温差控制系统?对三氯氢硅纯度的判定温度和压力就可以了,对杂质含量就很难说了,毕竟是微量,最终还得靠提纯塔的稳定操作。 根据温度压力变化范围检测一下三氯氢硅的浓度,最后确定一个质量比较稳定的温度压力变化范围,以后就可以根据这个范围来操作了。 监控好原料杂质含量,稳定精馏塔压力温度就可以了
重要的是稳定操作,毕竟是微量杂质,有波动也在温度压力上反应不出来 微量杂质的含量控制在多少? 对于多晶硅,杂质含量就是致命的问题,所以,精馏工艺的控制仅仅靠温度和压力如何能判断杂质的含量呢?
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