hfhsd
发表于 2009-11-9 09:34:04
多晶硅反应炉电极漏气如何解决
这是新法多晶硅工艺
activator
发表于 2009-11-9 14:03:00
能说么具体什么地方漏气吗？电极和底盘之间，还是电机本体？
南希
发表于 2009-11-10 12:46:26
你可以介绍一下你们的电极密封圈、套筒是哪种材料？我们做过优化的也许可以探讨？
lh1970
发表于 2009-12-11 21:51:24
1# hfhsd
停炉检修
不然越漏越大
qinmingming340
发表于 2009-12-13 20:27:06
问题太笼统了，可以将问题更具体些，然后可以集体讨论！
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