谁的过错 发表于 2009-12-18 14:45:35

氮氧化硅生成的反应温度？？？

在还原炉置换过程中，如果氮气置换不干净的话，硅棒生长过程中，将会生成氮化硅物质附着于硅芯表面上，请请教各位大侠，硅与氮气常压下发生反应的温度是多少？

yezi7414 发表于 2009-12-18 16:24:47

有在低温下（650度）的氮化，也有在高温下（900度以上）的氮化

情合赢 发表于 2009-12-18 16:50:43

我们还原炉启动时，炉内保持微正压（算常压吧），硅芯击穿前用辐射加热器给硅芯加热，温度控制在600以下（超过了就会发生硅腐蚀，即氮化），这时候是在氮气环境下加热的（氮气启动容易成功），就像楼上说的，有高温和低温氮化。
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