mian726 发表于 2011-12-15 17:10:29

压力越高越容易沉积

maxwell_112 发表于 2011-12-15 17:07:00

回复 5# luoye888
    同意。研究表明：压力高肯定是会提高沉积速度的（见多晶硅工艺学上相关介绍），原理应该以动力学来解释了。

w007zf 发表于 2011-12-16 21:11:22

调整的是炉内压力？现在系统是几公斤？
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