硅棒在生长过程中出现像苦瓜皮一样的条纹状是怎么回事?
现在我们的硅棒长的长的的就出现从上到下都出现了条纹状不知道是怎么回事到了后期条纹状就不怎么明显了我不是搞还原的,不知道是不是流量不稳导致的
static/image/smiley/default/smile.gif
气量不稳定,按照正常生长曲线应该不会有这样的问题 这个我也见过,当时在现场问老外,他们说可能是汽化不够,三氯氢硅液体喷进去了 把温度放低点就好了
我试过的 的药多久才能恢复的过来,温度降到多少合适 5# 16981565
页:
[1]