功夫98748 发表于 2009-11-10 09:48:35

有那位高手指点一下

本帖最后由 功夫98748 于 2009-11-10 10:40 编辑
那位大侠指点一下，还原炉开出的产品，是料不纯还是氢气有杂质。谢谢哦

activator 发表于 2009-11-10 10:27:48

你之前的吹扫没有做好，导致里面的水汽比较的大，会和硅烷进行反应，产生的物质就是黄色的。
还有一种可能是你的炉底盘漏水了。
另外的可能是在你停炉之后有硅烷液体积在炉底，在你开炉的时候就和空气反应了。你应该可以闻到很浓的气味的。

功夫98748 发表于 2009-11-10 10:53:00

谢谢，不是黄色的是蓝色的，什么原因。请指点谢谢

南希 发表于 2009-11-10 12:38:22

本帖最后由 南希 于 2009-11-10 12:40 编辑
蓝色的可能是氮化啦，是不是氮气置换不干净。另外你们硅芯表面的杂质可能是管道置换不干净，开始的时候应该像绒毛一样的东西吧？

yezi7414 发表于 2009-12-9 17:04:32

惨不忍睹啊......！ 你那系统清洗干净没？吹露点了没有？反应物料纯度怎么样？ 棒子表面看上去怎么有点像硫化物？

海云飞 发表于 2009-12-23 20:18:52

感觉像微量水汽进入

aaronchen 发表于 2009-12-24 08:24:40

取样去做一下分析 看是氮化物还是硫化物

laowang1982 发表于 2009-12-24 10:59:50

露点没吹好，LZ怎么停炉的？

laowang1982 发表于 2009-12-24 11:01:10

黄色的也是硅，不正常停炉造成的

xuzhengwei 发表于 2009-12-24 14:31:57

低温硅 ，我 见多了 黄色低温硅 蓝色的你去酸洗 腐蚀掉的就是氧化硅 腐蚀不掉就是氮化硅
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