SIHCL3的转化率
在多晶硅的生产中还原SIHCL3和氢化SICL4的转化率一般都是多少啊?有没有什么公式可以计算呢?
还原SIHCL3的转化率15%左右,
氢化SICL4的转化率20%左右. 各比二楼低几个百分点……
惭愧啊 还原SIHCL3的转化率15%左右,
氢化SICL4的转化率20%左右.
feibiao101 发表于 2010-1-6 06:55
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怎么控制的?这么高?佩服 他说的是理论的数值。 嗯,是很不错的转化率 谢谢各位的回复,我们单位的SIHCL3转化率才10.5%,SICL4的转化率是15% 转化率要15%左右?
我这的!!!!!!完了 15%是不错就是了,如果沉积速度和转化率高就更好了 要做15%的收率一点也不难,TCS进料降下去,氢气配比增大,转化率自然就高了,对于电费便宜的地区,完全可以用高电耗来换高收率,最后的总成本可能比电费高电耗低的厂还低,因为后续负荷也随之降低了,尤其采用热氢化的,后期负荷降低也意味着电耗能够在氢化过程中找回一点平衡
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