huijuju 发表于 2009-11-12 16:56:37

硅棒上的“爆米花”现象

U形硅棒的顶部表面容易出现“爆米花”结构。爆米花现象形成的原因有哪些？大家讨论一下。

情合赢 发表于 2009-12-10 08:49:29

因为横梁连接不紧密，不符合要求，导致连接处局部电阻过大，分压过高，温度就会很高，此处的沉积速度就会很大，容易形成凸起，很多个凸起就形成了爆米花。
看样子你们那个横梁是在硅芯上开V槽吧，把横梁架在上面就是，最好的做法是在硅芯上部打锥形孔，然后把横梁的两端打磨成锥形，这样连接起来就比较紧密，对爆米花的形成有很好的防范。

silian99 发表于 2010-2-1 22:33:35

因为横梁连接不紧密，不符合要求，导致连接处局部电阻过大，分压过高，温度就会很高，此处的沉积速度就会很大，容易形成凸起，很多个凸起就形成了爆米花。
看样子你们那个横梁是在硅芯上开V槽吧，把横梁架在上面就是 ...
情合赢 发表于 2009-12-10 08:49

                              
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学习了，真是高人一个

听琴 发表于 2009-12-10 08:49:00

因为横梁连接不紧密，不符合要求，导致连接处局部电阻过大，分压过高，温度就会很高，此处的沉积速度就会很大，容易形成凸起，很多个凸起就形成了爆米花。
看样子你们那个横梁是在硅芯上开V槽吧，把横梁架在上面就是 ...
情合赢 发表于 2009-12-10 08:49

                              
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学习了，谢谢分享

Minos 发表于 2010-2-2 08:41:49

因为横梁连接不紧密，不符合要求，导致连接处局部电阻过大，分压过高，温度就会很高，此处的沉积速度就会很大，容易形成凸起，很多个凸起就形成了爆米花。
看样子你们那个横梁是在硅芯上开V槽吧，把横梁架在上面就是 ...
情合赢 发表于 2009-12-10 08:49

                              
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在横梁上开孔然后加工硅芯顶部，除了要加工硅芯本体之外，还要加工横梁，增加了加工成本
另外，即使是开孔插进去，也根本没法保证其中是紧密的面接触，因为以硅的硬度来说，根本无法做到如此的加工精度，否则就是加工成本高，所以，这种方式还是线接触甚至也只是点接触，局部电阻还是过大，改善的效果不会非常好

silian99 发表于 2009-12-10 08:49:00

横梁的问题是不是只影响到横梁那一块呢？我觉得炉内的流场对爆米花的形成也会有影响，比如棒旁边小涡流的存在是肯定会影响沉积的。

251969824 发表于 2010-2-2 10:56:21

一般都是U形硅棒的底部（凹）表面容易出现“爆米花”结构吧
顶部出现爆米花结构
有点怪

lzf1211 发表于 2009-12-10 08:49:00

应该是温度控制的不是太好，内部热场不稳定，或者是硅芯的表面不光滑，形成密集电流，造成硅体的局部长大造成的，不是做还原的，根据晶体生长的的原理推测的 7# 251969824

luoleihongsha 发表于 2010-2-2 11:52:19

这问题现在还有人不知道呢?

87086896 发表于 2010-2-2 16:06:26

我觉得跟后期时，顶部温度过高，反应速度快，沉积量大带来的。
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