maohaibo 发表于 2009-12-27 16:20:20

如何除去原料气中的氮气

由于生产多晶硅的原料气中含有一定的氮气，可能影响多晶硅的纯度，那么如何除去其中的氮气呢？有没有简单实用的方法？

海硅哥哥 发表于 2009-12-27 18:07:16

那就用H2置换啊，一般科学依据为置换5次，从5bar-1bar

laowang1982 发表于 2009-12-28 08:52:29

原料气中有多少氮气？如果是TCS中含，则可以考虑加个蒸发-冷却装置，首先将TCS汽化，然后冷却，冷凝物为除氮的TCS，不凝物就是N2和少量TCS；如果是氢气中含N，用二楼的置换就行了

liuchanghui123 发表于 2010-1-8 19:28:17

1# maohaibo
我对工艺不明白，但在制氧过程中，利用分子筛吸附氮气，你可以询问一下，是否或以采用分子筛吸附氮气。

liujianzhang1 发表于 2010-2-3 09:12:46

如果是回收氢气中氮气含量超标，只需要定期排放就可以了，补充新的电解氢气

扬赞 发表于 2010-2-3 13:59:16

要看你是在哪个工段了，还原这块你用H2置换就可以了。。。

lxx007 发表于 2010-2-4 02:54:06

用分子筛就可以除去氢气中的氮气。我们公司上了一套除氮装置。用的就是分子筛。是四川天一科技的。利用变压吸附，除氮！要求加分！

kuristying-1 发表于 2010-2-4 14:13:27

关键是找进入氮气的原因
炉子，设备投系统时置换不干净，还是本身就有泄露的地方
补气，放尾气一定程度上增加了生产成本

jilaxy 发表于 2010-2-5 11:59:20

我们这是在TCS进炉之前先用汽提塔将TCS中的氮气除掉，如果你们的工序中没有汽提塔的话，那可能就比较麻烦了~~~

驭风 发表于 2010-2-5 15:13:27

用氢气使劲使劲的吹哦
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