450064755 发表于 2010-2-4 11:04:19

怎样计算H2/SIHCL3的配比

比如 我的蒸发器温度设定为32度，请问H2/SIHCL3的配比怎么算啊？请指教哈~~~~~~~~~~~

liujianzhang1 发表于 2010-2-4 16:51:00

本帖最后由 liujianzhang1 于 2010-2-5 09:05 编辑
在32度时三氯氢硅的饱和蒸汽压大概是0.1Mpa，如果要控制氢气和三氯氢硅的配比，需要控制混合气的压力，例如：要求氢气：三氯氢硅=4：1（mol）则混合气压力要控制为4*0.1+0.1=0.5Mpa，关键是计算三氯氢硅在各个温度下的饱和蒸汽压，这个数据是很难得到的。

dingdaliang 发表于 2010-2-6 14:22:00

用质量流量计,什么都解决了

SSSSS 发表于 2010-2-6 15:39:21

用质量流量计,什么都解决了
dingdaliang 发表于 2010-2-6 14:22

                              
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对极了！沉积速率和转化率关键看Cl/Si与 Cl/H的比。看下图：
https://bbs.hcbbs.com/data/attachment/image/000/65/00/55_200_200.jpg

450064755 发表于 2010-2-6 14:22:00

图不咋看的懂哦？？？？？？？？？？？？？？？？？？？？？？？

Gabriel13hit 发表于 2010-2-7 08:45:07

图中的Cl/Si和Cl/H是什么意思？

sanvey 发表于 2010-3-1 20:15:26

算摩尔数，用质量流量计，三氯氢硅YOKOGAWA的或者E+H的brokhorst的

cdwenjian 发表于 2010-3-2 20:44:59

上面的那个图，什么意思？是不是指三氯氢硅和氢气的比列与多晶硅的生长速度的曲线图哦？

poqwie007 发表于 2010-3-3 10:35:30

6# Gabriel13hit
应该是 分子式中 原子数之比

shamoquan 发表于 2010-3-3 12:40:45

本帖最后由 shamoquan 于 2010-3-3 13:49 编辑
根据温度，对照三氯氢硅的饱和蒸汽压曲线，查得该温度下的三氯氢硅饱和蒸汽压，然后看要控制的氢气/三氯氢硅比例（体积比，x/1）是多少，则总压（绝对压力）就是三氯氢硅饱和蒸汽压乘以（x+1）；反过来，如果知道总压是多少，就知道氢气和三氯氢硅的比例是多少。
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