jarry0831 发表于 2010-3-10 12:28:42

关于夹层

我是个菜鸟,我想知道多晶硅生产中什么是夹层,还有温度夹层,氧化夹层?这些概念我都模糊的知道,各位能不能给我一个比较完整的概念啊,谢谢!

sc006 发表于 2010-3-10 13:57:27

没有什么完整的概念吧
自我认为:还原过程中因为操作,物料杂质,工艺参数剧变引起的多晶硅质量的变化,在硅棒中留下类似于树的年轮的层状结构就是夹层。有温度夹层,氧化夹层,镜状夹层,N化夹层等等
看看这个帖子吧
https://bbs.hcbbs.com/thread-628946-1-3.html

28926828 发表于 2010-3-11 10:28:54

谢谢LS 哈!!!!!
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