jarry0831 发表于 2010-3-11 22:53:56

还原反应物料，温度，气体流量对反应的影响

各位能不能给小弟具体讲讲多晶硅还原反应过程中反应温度，配比和气体流量对还原反应的影响，越详细越好，谢谢！

huweiminwo 发表于 2010-3-13 18:39:18

这个要讲的话听麻烦的啊，我也是刚弄这个，书本上介绍了一些，但到了实践上却差强人意啊，呵呵，温度1050到1100，配比一般是三比一到五比一啊，流量刚投产不能太大啊，慢慢加啊，具体影响的挺多，涉及到氧化夹层，温度夹层，还有再生产过程中的提速和提高电流，等等挺多，一下也说不清，你买一本书吧，去年五月分出版了一本书，到网上能买上了
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