lllllljjj 发表于 2010-3-25 16:34:09

ICP在多晶硅中的应用

ICP分：光谱和质谱。在多晶硅中的应用有什么不同？都是分别测量哪部分的？都有哪些国外知名的厂家？

cdwenjian 发表于 2010-3-25 20:00:04

我们这里用ICP就是测定TCS里面B的含量的！
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