zhufeng2
发表于 2010-4-16 11:12:25
电阻率和硼、磷含量的关系
多晶硅的电阻率和硼、磷含量有一定的关系，如何计算，请高手指教
海硅哥哥
发表于 2010-4-16 11:50:00
这个问题我也很想了解下。。。。。。。。。。。。。。。
jesscy
发表于 2010-4-16 11:59:46
是测得的吧
然后总结规律。
应该有，
期待着高手给解答
robin-Y
发表于 2010-4-16 16:49:44
电阻率=1/e.u.n
不知道是不是这个
novoland1
发表于 2010-4-16 20:04:30
磷硼的应该是分着算的吧，期待高手给出相应的关系式
yuehan
发表于 2010-4-16 20:06:21
磷硼和电阻率的关系有专门的计算尺，有色设计院很多人都有，国外有卖的
muerjun
发表于 2010-4-16 22:59:00
我也想了解一下学习了
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