360785712 发表于 2008-8-2 15:42:45

多晶硅还原炉的操作规范

那位兄弟手里有氢还原炉的操作规范？发上来共享下！

不准重名 发表于 2008-8-2 21:32:10

建议你去咨询一下：
http://www.chinasilicon.net/bbs/?fromuid=62854
看是否能有人回应

smtmx 发表于 2008-8-27 13:01:10

如果购进了还原炉，有随附操作手册。

lj518628 发表于 2008-8-27 13:21:06

多谢二楼的！找到了一些有用的东西

kingkang2007 发表于 2008-9-13 16:48:16

我觉得以后大家就不要发这样的贴子了,象这样的生产操作规程怎么可能有人这样上传到网上.如果有的话那最少要等二十年以后,就要现在的烧碱一样.

happyfatboys 发表于 2008-11-11 02:23:25

1.装入硅芯，调校位置
2.关炉
3.进行打压测试，确保无漏气，安全阀检测。
4.检查循环水流速，压力
5.检查导热油温度，压力
6.抽空，送气15分钟以上，打开安全阀
7.确保压力在0.3Mpa
8.加电预热.
9.温度上升后控制气体流速，摩尔比。
10.调整电压，控制温度在1050°左右。
11.观察仪表检测出的尾气分析数据，并做出适当的调整。

dongzhen1 发表于 2008-11-28 15:15:06

不同制造商的炉子，操作规程不一样

yuxingwhy 发表于 2008-12-3 19:47:34

都差不多的   安全阀不用也行 调节阀可控制   抽真空--0.09Mpa就不漏了
氢气置换30分钟以上就可启炉

南希 发表于 2008-12-11 20:17:46

确保压力在0.5Mpa，温度1150

taiyang-hchg 发表于 2009-1-21 15:39:22

没啥神秘的 大家不要把他神话了其实主要别泄露 控制好温度 压力   冷却水还有通气量就行了主要在于计算和操作经验
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