多晶硅尾气资料
我刚刚开始接触多晶硅尾气回收处理技术的应用。希望了解如下资料：1. 生产1t多晶硅需要多少原料氢气？原料氢气的制备方式如何？质量要求如何？一般要求配套原料氢多少量？
2. 1t多晶硅产生的尾气量大约有多少？大致的组分是什么，大约有多少？温度和压力如何？
3. 通常的尾气处理方式如何？得到的效果如何？
4. 希望尾气处理达到何种效果？
5. 合成多晶硅原料气的具体成分要求？
谢谢！
[ 本帖最后由 LHY8771 于 2009-1-12 16:50 编辑 ]
要是真的有人全部给您答齐了，那才真是高手哪
尽量答一下吧：
1、原料氢气的制备：电解
露点≤-70℃
O2≤1PPm
2、西门子法的尾气大致组分是氢气、三氯氢硅、四氯化硅等
3. 通常的尾气处理方式：
以前量小的时候直接排放
现在大多数用吸附 4. 希望尾气处理达到效果：只剩下纯净的氢气
5. 合成多晶硅原料气的具体成分要求：与原料氢气相同的啊？ 氢气露点小于60，氧小于1ppm,吨硅用量可由质量恒算得理论值，制氢由电解水，有专门设备供应商，处理得合格氢气。一般采用过量氢气5-8倍，转化转化率0.15-0.2.微压，1000°
尾气处理要求所有物料得到回收利用，冷冻加压吸附提纯氢气，氯化氢。加压精馏提纯氯硅烷回收利用
[ 本帖最后由 gushya 于 2008-11-7 02:22 编辑 ] 原料气的比例大家都不一样的，认真分析计算各大厂家都不一样的。比例都是保密工艺参数
只有自己用软件算的理论值。
尾气回收大致分两个技术路线：1.干法2.湿法
干法是主流，现在价格跌得这么严重，不能再把那么多的原料水洗掉了。
从还原炉出来的尾气干法都要氢化（四氯化硅氢化成三氯氢硅），然后经过变压吸附（PSA&VPSA）,冷冻精馏提纯直接回还原炉。 目前，多晶硅行业制氢均采用电解水制氢。但电解水制氢不太符合国内情况，就是国内的电价远高于国外电价。况且，国内引进的多晶硅生产工艺的能耗也远远高于国际水平的能耗。采用电解水制氢从长远看不符合众国国情的！ 楼主的问题很专业啊，不像是刚刚接触。
不妨把自己项目情况发上来介绍一下，让大家都了解了解！
交流的效果可能会更好啊 据我了解的一些情况，多晶硅技术正在国产化。而国产化的一个特点就是个专业厂家提供不同的专业设备，在有设计院统一规划设计。得到符合国内需求的技术装备。这方面，国内的设计院主要还是面向国外，很少看国内的技术状况。 生产1t多晶硅需要的原料氢气随着反应的进行量有较大变化，至于量不便细说；原料氢气的制备方式主要有电解水制氢或者由氯碱企业提供氢气进行提纯，质量要求纯度99.9995%以上，露点-60℃或更高。 咳！不同的工艺技术、不同的生产流程、不同的参数控制、不同的炉子出来的气体的成分都不一样。看来还是只有具体问题具体分析了！
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