zsyd1980 发表于 2009-3-7 23:30:42

尾气处理的效果是，将回收的氢气提纯后送去参与沉积反应，将回收的氯硅烷进行精馏提纯，将HCL送去合成三氯氢硅

子狼 发表于 2009-3-12 18:03:20

真正多晶硅还原是不消耗氢气的，从反应式可以看出

anndy1971 发表于 2009-3-13 10:48:51

我觉得用现有氯酸钾，氯酸钠生产尾气氢可以吗？电解氯化钠水溶液不是副产氢吗？脱掉其中微量氯，氧不就可以用了吗？氢气纯度达到99.5%可以吗？
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wxer 发表于 2009-5-6 17:16:30

有个问题要澄清！
虽然我公司是专业制氢的，但是对多晶硅来说，特别是电子级的，对碳的要求相当的高。基于这一点，涉及化石原料的制氢都是不合适的，无论怎样都含有碳。
对多晶硅来说，氢的来源选择水电解和氯碱尾气净化提纯都是比较合适的，只要通过PSA，露点降到-60度是完全没有问题的，氧的处理加上除氧器就可以了，相当成熟。这两种气源除了氧和水，氯碱有可能有氯，是绝对没问题的。只是针对改良西门子法。
尾气处理及相关指标等，现在已经算是比较大致的数值了。还原工艺的革新，各家还没有那么本质大的区别。

bochen886 发表于 2009-5-8 21:59:03

尾气需要回收吗

pgq008 发表于 2009-5-13 15:34:04

将回收的氢气提纯后送去参与沉积反应，将回收的氯硅烷进行精馏提纯，将HCL送去合成三氯氢硅

xz1126 发表于 2009-8-19 12:05:00

16# pgq008
目前我公司是利用电解水制氢的，氯酸钠的尾气中有大量的氢气，现有没有采用此法取氢气的，若有请同我联系，谢谢xz1126@163.com,38963733@qq.com

rishionli 发表于 2009-8-19 21:07:34

电解氢肯定是用电解槽电解KOH溶液制取嘛。尾气回收都用美国CDI公司的干法回收技术！尾气过来温度100多度的，进回收系统之前需要二级冷凝。到回收系统大概就只有40度左右了。压力根据设计来的，一般表压能达到2公斤就算高的了。压力高有利于冷凝嘛。再说，还原系统那边的压力是可以自动调节的。可以憋压嘛！回收系统进压缩机对压力也有要求的，所以压力不能太高。氢气的露点肯定要低于-40度啊，纯度一般5个9...其余的不和你透露了，呵呵，等多加点分再说吧。。。。哈哈。。。

jacky_key 发表于 2009-8-20 13:48:09

CDI工艺的广泛应用在不同多晶硅厂的确有不同的生产状况，具体条件只能根据各自配套的设备来决定了，但干法尾气回收的理论思路是大体相同的，都配套有深冷分离和PSA分离。理论上尾气干法回收是不需要消耗氢气的，还原尾气中有多少氢气过来，就有多少氢气出去。

wyc6880 发表于 2010-4-29 16:41:39

一般要求配套原料氢大多是1比6到7，
2. 我知道的年产200t多晶硅产生的尾气量大约有1500Nm3/h，大致的组分是三氯氢硅，四氯化硅，氢气，氯化氢和少量的二氯二氢硅。温度和压力看你还原的颅内压力和前面的回收装置，我见的时0.04，温度常温左右。
3. 通常的尾气都时先淋洗，冷却回收液体后，再用干法回收并提纯氢气
4. 大概就是能回收多少就回收多少，全回收最好，
5. 合成多晶硅原料气的具体成分主要是三氯氢硅，氢气
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