chenjf81 发表于 2010-5-22 09:19:43

电子级四氯化硅残夜的无害化处理方法

有客户想让我们帮忙处理,使用完的四氯化硅液体的残夜,该四氯化硅是用于电子行业多晶硅的制作,纯度比较高。
残夜的无害化处理能否用碱进行中和?工艺上要注意些什么,谢谢

kalaga 发表于 2010-5-22 10:21:43

四氯化硅纯度很高的话 还是有利用价值的

feiyun2010 发表于 2010-5-22 10:34:55

纯度高,可以用于生产白炭黑或氢化成三氯氢硅。

chenjf81 发表于 2010-5-22 11:33:33

是残液噢,是一桶容器用完后剩下的残液。

liuzhts 发表于 2010-5-22 16:59:22

我有很经济的处理方法,可以回收二氧化硅和氯化氢气体

zhangweicheng 发表于 2010-5-22 19:38:00

当然可以用碱液综合,然后板框压滤成滤饼外运堆埋
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