mark810 发表于 2010-6-7 21:14:36

油脂对多晶硅的影响

实际证明系统中几ppm的油含量就可能造成多晶硅反应速度减慢，产量降低，甚至硅反应停止，原理是什么呢？

duojinggui999 发表于 2010-6-15 10:20:48

油脂多，相对含碳量高，碳对还原时有影响的

wanhongfei 发表于 2010-6-16 17:59:05

碳含量高只能影响多晶硅产品的质量，减少少子寿命，应该不会出现多晶硅反应速度减慢吧，所以楼主这个问题相当有水平，关注中
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