cxy721225 发表于 2010-7-3 14:49:59

氢气进入合成炉的作用有那些?

有谁知道氢气进入合成炉的作用有那些?是否安全。

fzy 发表于 2010-7-5 00:41:19

提高合成炉的收率,适当的氢气有利于硅粉与氯化氢的反应。

maxwell_112 发表于 2010-7-5 13:01:34

据资料介绍:少量的氢气随氯化氢进入合成炉有利于合成反应的进行,多了的话就会抑制反应的转化率

wei8jun 发表于 2010-7-5 14:39:52

可以减少游离氯的存在,减小对设备的腐蚀,提高TCS合成的产率!
页: [1]
查看完整版本: 氢气进入合成炉的作用有那些?