化工人士 发表于 2010-7-1 21:45:07

还原炉开工的时候置换问题？

还原在每一次开炉过程中都要置换，那么置换过程的废气是怎么处理的呢？:loveliness: 还请各位高人指点，不胜感激。

zjiris 发表于 2010-7-1 22:46:48

废气，抽真空阶段的废气直接排空，其他时候去淋洗系统

情合赢 发表于 2010-7-2 01:16:47

开炉的时候要用N2置换空气，这时候直接排空，测含氧量；
然后用H2置换N2，就要通到淋洗了，测氢中氮氧含量；
停炉时，H2置换氯硅烷，通到淋洗；
然后用N2置换H2，到淋洗。测H2和氯硅烷含量，合格之后可以直接排空。

yxxyyx 发表于 2010-7-2 10:15:28

开炉的时候要用N2置换空气，这时候直接排空，测含氧量；
然后用H2置换N2，就要通到淋洗了，测氢中氮氧含量 ...
情合赢 发表于 2010-7-2 01:16

                              
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情合赢 发表于 2010-7-2 01:16:00

回复 4# yxxyyx
这是我瞎想的啊，大概应该是这样吧。不知道哪位高手还有好办法啊？

tzm10 发表于 2010-7-2 11:17:24

启炉氢气置换后一般只检测露点

化工人士 发表于 2010-7-3 16:22:04

大家再讨论讨论，看还有新的方法吗？

hutaokiss 发表于 2010-7-9 20:10:18

开炉的置换 N2置换氧气 分析测露点 启动高压 击穿后H2置换 N2 分析含N2             卤素灯预热 启动调功柜 击穿后 N2置换O2合格后 H2置换N2    都是直拉排到 废气外理
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