边看边学 发表于 2010-4-10 08:47:46

讨论影响硅棒质量

多晶硅生产有TCS合成，精馏，CDI，还原，后处理。大家讨论下影响硅棒质量的因素

海硅哥哥 发表于 2010-4-10 14:50:38

料的纯度我感觉是最主要的，当然控制参数也是必须的

wei8jun 发表于 2010-4-10 18:12:33

每道工序都可能影响多晶硅的质量问题，必须严格按照工艺指标控制！

feiyun2010 发表于 2010-4-11 15:52:05

精馏、还原以及回收时关键，合成虽能是重要，但它主要还是关系到成本问题。精馏不好，一切是白做，精馏做好了不等于就能生产成功。

maxwell_112 发表于 2010-4-27 17:16:42

3大工艺都已经很成熟，关键是提纯的料决定着硅棒产品的各项性质，如何辨别氯硅烷中B、P的存在形态是核心

szp668 发表于 2010-4-28 14:05:11

精馏、还原以及回收时关键，合成虽能是重要，但它主要还是关系到成本问题。精馏不好，一切是白做，精馏做好了不等于就能生产成功。上面的人说的对呀。精馏使关键呀，塔关系到整个系统的纯度呀。

wyc6880 发表于 2010-4-28 15:40:45

除杂最为重要吧，例如氢气中的氧氮，和三氯氢硅中的磷，硼等杂质。

王道凤 发表于 2010-7-14 22:00:52

反应温度、反应混合气配比、反应系统的压力、混合气体的流量、原料纯度、沉积硅的载体
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