jijixiangshang 发表于 2010-7-21 12:34:53

装硅芯时间和启炉时间

一炉硅芯装好，多长时间不启炉会造成硅芯氧化、会对多晶硅质量造成影响？如果是氮封，多长时间不启炉要重新装炉？
装硅芯时间应控制在多长时间合适？
希望大家献计献策！不甚感激！

风雨无晴 发表于 2010-7-22 10:12:55

可以通氮气保压或者氮气一直吹扫就好了，放两三天没事
页: [1]
查看完整版本: 装硅芯时间和启炉时间