多晶硅生产中怎么除去四氯化硅中的三氯化磷

lyjqu 发表于 2008-9-27 15:45:07

请问有谁知道多晶硅生产过程中怎么除去四氯化硅中的三氯化磷。
[ 本帖最后由 LHY8771 于 2009-1-12 16:00 编辑 ]

aojian 发表于 2008-9-27 20:22:59

多级精馏

lyjqu 发表于 2008-9-27 20:42:57

四氯化碳中的三氯化磷量很少，精馏时塔釜出料量很少，控制很难呀

zhaoxiong 发表于 2008-9-28 08:45:33

目前主要是靠精馏了，含量少难除去是目前的问题，只能加大理论板数，使用新型高效的分离内件，比如：丝网规整填料。

22387179 发表于 2010-4-11 17:51:12

目前采用最多的就是靠精馏来除杂质，其他可能还在研究中。。。。。。请稍候。。。。。。

NCPCPJF 发表于 2010-4-12 21:51:32

精馏，好像我们搞过，纯度达到6个九

wei8jun 发表于 2010-4-13 01:04:25

多次精馏，但是效果不是很好！

feiyun2010 发表于 2010-4-13 07:22:01

目前，都是采用加压精馏的方法来除磷。

sapphire2004 发表于 2010-8-7 18:36:36

都是单独搞一个塔吗？如果是做白炭黑，三氯化磷的含量要求是多少？

13582421 发表于 2010-8-7 20:43:14

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