yxxyyx
发表于 2010-7-5 13:47:45
我们单位目前用的是12对棒的还原炉，硅芯高度为2500mm，上部菜花比较严重，听说，有些厂家都把进气孔改成喷 ...
tdd 发表于 2010-6-29 15:18
登录/注册后可看大图
进氢气的孔？
tdd
发表于 2010-6-29 15:18:00
回复 11# yxxyyx
是进氢气和三氯氢硅混合气的
jijixiangshang
发表于 2010-7-10 10:09:56
这个其实自己做实验比较好，根据硅棒生长情况，硅棒表面情况，更改喷嘴。
晓梦蝴蝶
发表于 2010-7-13 11:21:13
流体数值模拟和试验相结合吧
tdd
发表于 2010-7-14 10:24:29
回复 13# jijixiangshang
试验可以做，关键是想知道喷嘴的具体类型，是单一的直孔，还是有其他的类型？
Misilang
发表于 2010-7-15 08:02:39
还原炉喷嘴一般需要用计算流体软件进行模拟以减少实验，提高效率
目前我正在做这项工作，改进我们的喷嘴（硅芯2800mm）
guafa58
发表于 2010-8-9 16:19:26
呵呵，喷嘴看来很重要啊，不过我们没用的，呵呵
zhangweicheng
发表于 2010-8-9 22:33:27
要具体问题具体分析，还是自己试验比较可靠
hfjiang
发表于 2010-8-10 09:20:05
这个问题值得期待！