多晶硅检测方法
请教各位多晶硅同行能否解决以下问题:(1)基磷、基硼检测的频率和他们的运行速度以及样品制备?
(2)少子寿命检测的样品处理方法?
(3)硅芯检测的前处理?没有喷砂可以吗?
(4)低温傅里叶变换红外光谱仪检测磷、硼、碳、氧及三、五主族金属杂质的样品处理方法和注意事项?
(5)ICP-OES检测硅粉和粗制的三氯氢硅、四氯化硅的样品处理方法和注意事项?
(6)ICP-MS检测成品硅和精制的三氯氢硅、四氯化硅的样品处理方法和注意事项?
(7)气象色谱分析氯硅烷和高纯气体的分析方法和设备的配置要求?
说明上述分析方法中用的各种设备、材料和器皿以及他们的要求。
有设备厂家设备的规格型号和操作规程更好。
你现在不是正在使用吗? 回复 2# 言月
用的主体设备都差不多,但是方法有不同的。我想总结完善一下分析方法。很多人想要这个答案。 回复 3# cpz68868739
哦,明白了,你真是个有心人!善于总结!要向你学习,多多总结! 真是有心,很多公司都有自己的方法,方法未必要统一,殊途同归就行。如果要统一还需要一定时间和过程磨合。 回复 5# piaowu0335
统一的可行性不是很大,现在对于这个热行的多晶硅正处于保密时代吧? 回复 6# 言月
:loveliness: 总有天会统一的,现在不行,需要时间的 回复 7# piaowu0335
希望这一天快点到来!
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都是靠经验的,用的仪器不一样,方法肯定也不同,根据自己的情况去摸索的,其实也没什么神秘的 制定标准吧,这样就统一了。
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