lesson 发表于 2010-7-13 19:02:00

同意楼上意见！像氢气这样的气体在多晶硅工艺中还是选取保守点的流速为好。
feibiao101 发表于 2010-7-21 20:29

                              
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为什么要保守点呢？H2的燃烧或**是需要条件的，在还原炉内的硅棒表面，1000多度的温度，。。。。

鹧鸪汀 发表于 2010-7-25 09:18:24

氢气的流速≤8米/秒，如果超过≤8米/秒，要注意消除静电。

lixiaolong602 发表于 2010-7-21 20:29:00

那要看你的氢气用在什么地方
譬如合成炉也要通氢气来稀释氯化氢和降温
这是氢气的流量根据氯化氢来定，一般是小于氯化氢的10%

nmwhjz 发表于 2010-7-25 10:25:01

我计算得我们生产中氢气流速达到了12m/s

hanshanzhou 发表于 2010-7-25 19:54:13

计算一下   Q=vpd*d/K
               V=QK/pd2
大约15-20m/s

poqwie007 发表于 2010-7-26 21:19:01

推荐你看
GB 50177-2005 氢气站设计规范
这里面有很详细的介绍 呵呵
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查看完整版本: H2在管道中的最大流速是多少？