wu11xin 发表于 2010-8-25 21:19:24

硅烷除杂问题

质谱检测硅烷中含有5%左右HCL及痕量SiHCl3和SiH2Cl2,用什么工艺可以除去？

zhengrd 发表于 2010-8-26 08:15:39

5%左右HCL，含量还是比较高的，冷却和分馏
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