三氯氢硅中B、P杂质组分存在具体形态

ahui2009 发表于 2010-8-25 16:52:28

都说三氯氢硅中B、P杂质主要以BCl3和PCl3的形态存在，这两种物质的相对挥发度（当然是相对三氯氢硅的），都挺大的，按说精馏应该很容易除去，但实际上除去这两种杂质还是相当困难的。所以很多人猜测B、P杂质可能以很复杂的形态存在，具体形态说不清楚，不知道有哪位高人研究过，可否赐教？谢谢！

sansir 发表于 2010-8-25 22:09:33

回复 1# ahui2009
我还没发现谁能把这个问题具体搞明白,自己多努力吧

zhangweicheng 发表于 2010-8-26 00:01:40

部分以络合物的形式存在。另一方面，即便是三氯化硼和三氯化磷他们与三氯氢硅的沸点相差很多，但他们的蒸汽压总是存在的，所以靠精馏完全分离开是不可能的。

68LONG 发表于 2010-8-27 08:53:47

回复 3# zhangweicheng
还是没太搞明白，一种物质存在于混合物中，那就肯定有蒸汽压了，不是因为有蒸汽压才不好分离，是因为存在，所以有蒸汽压（分压）吧？

鹧鸪汀 发表于 2010-8-27 09:36:01

回复 1# ahui2009
一些问题不能完全用理论来理解，物质浓度达到一定的纯度（3N）就非常难以分离，不论物质的物化性质差异的大小，大量的工业化生产分离提纯高纯物难度很大。

maxwell_112 发表于 2010-8-27 11:55:24

你能通过精馏达到ppb级别已经非常不错了，相对挥发度再大又能怎样

小祖发表于 2010-8-27 12:03:00

回复 6# maxwell_112
在氯硅烷中B和P的存在形式非常多，而且有很多不稳定的络合物，当精馏过程中，这些不稳定的络合物受温度和压力的影响，会发生结构的变化，所以表现为三氯氢硅中，以B和P存在的朵质难以除去。

wei8jun 发表于 2010-8-28 01:02:00

大家说的很对，本来含量就已经很低，再怎么也不行！

zhengrd 发表于 2010-8-28 16:31:25

关键还是浓度是问题，目前已经是PPM或PPB级的，当然是很难去除的

shw-wind 发表于 2010-8-29 13:21:10

除杂就是一个难题啊，对于这些ppb级的就更是如此了，这是物性数据的影响相对来讲也就小了很多了！

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