zhangzhigang 发表于 2010-8-10 17:11:28

副产物四氯化硅的利用

副产物四氯化硅的利用

人有傲气 发表于 2010-8-10 23:01:21

谢谢楼主，这几份资料很有参考价值，多晶硅生产过程中，四氯化硅的利用是考核多晶硅的重要指标。

54970949 发表于 2010-9-5 12:59:34

谢谢楼主，，氯氢化是是以徐州中能硅业公司为代表，
3SiCL4+2H2+Si+3HCL→5SiHCL3
页: [1]
查看完整版本: 副产物四氯化硅的利用