zhaoxiong 发表于 2010-6-15 22:11:15

二氯二氢硅进还原炉杂质含量要求？

众所周知，适当比例的二氯二氢硅通入还原炉是有好处的，但目前得到高纯的二氯二氢硅似乎比高纯三氯氢硅还难，所以请大家讨论下若要将二氯二氢硅通入还原炉，对其杂质含量（B、P等）怎么要求？欢迎大家讨论！

李健raul 发表于 2010-6-16 11:43:15

同求啊期待高人

wanhongfei 发表于 2010-6-16 17:56:25

这个需要不断累积经验才行，但认为二氯二氢硅不宜含量过高

王道凤 发表于 2010-7-14 20:16:58

同求！我只知道回收料比合成料生产的多晶硅的质量好，就是因为回收料中含有一定比例的二氯二氢硅吧！

告别戈多 发表于 2010-7-15 01:56:51

有一定量的二氯二氢硅是好事，不仅能抑制三氯氢硅被还原到二氯二氢硅这步反应，还能增大硅棒的生长速度，但一般不宜超过5％，因为含量太高了会让硅棒长得比较蓬松，据说还会让还原炉的温度“莫名其妙”地升高，至于为什么就不知道了…

68LONG 发表于 2010-9-17 14:04:00

弱弱地问一句，二氯二氢硅的杂质含量是什么意思啊，难道你们要用纯的二氯二氢硅去还原吗？难道二氯二氢硅杂质含量还要与进料的三氯氢硅有所不同吗?

stoner 发表于 2010-9-20 22:15:28

二氯二氢硅在还原过程中不能算杂质，准确说算一成分

ruiguobao 发表于 2010-9-22 21:42:30

楼主是中硅的吧？
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