停炉裂棒问题
在停炉过程中温度较低时
横梁受热不均,会开裂
严重的横梁可能会掉落
请问:横梁开裂的原因是什么
是电流降快、慢了?
空烧氢开大、小了?
我觉得应该还是电流调整不均衡造成的。 击穿后电流降的太快了。或者拆炉时电流降的也太快了。 停炉时电流降得太快,冷热不均,里热外冷。横梁是连接两个硅棒的,温度高时,处于平衡状态,当降温时,两个硅棒都略微收缩,由于内应力作用,两硅棒从横梁处断开 生长的时候如果控制不好,当棒径达到一定程度的时候,也容易出现裂棒,我们现在只能保证棒径90以下的不裂,超过了90就无法保证了,棒径120以上的,几乎内部都有裂痕 基本上只要长粗了停炉就一定会裂的。这和其他的因素没有关系,这是硅本身的热胀冷缩产生的。 基本上只要长粗了停炉就一定会裂的。这和其他的因素没有关系,这是硅本身的热胀冷缩产生的。
ruiguobao 发表于 2009-7-3 12:06
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长粗了一定会裂是事实,但是如何让这个所谓的“临界裂棒直径”越大越好,是值得研究的问题 电流降得快,物料波动大 有可能是停炉时温度下降过快,硅棒内外温差大造成的吧。 长粗了一定会裂是事实,但是如何让这个所谓的“临界裂棒直径”越大越好,是值得研究的问题
Minos 发表于 2009-7-3 16:18
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临界裂棒直径,这个词用的好!
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