三者不和谐,那就会出现裂纹,然后就有可能倒棒。
和谐多重要啊。哈哈 说道底都是温度控制出了问题。温度降快了。
一般说来,我们停炉时先缓慢降混合气和电流,待混合气降到0后,开吹扫氢约30方,待炉内温度降到约600度时就可以直接断电。此后待炉内温度降到250度左右时关CDI,开淋洗,用吹扫氮气置换氢气,氮气流量约50方(吹扫氮30方,等离子氮20方),知道冷却水进水温度和出水温度大致相同时,可停炉筒水,放炉筒水。抽空后待白班拆炉即可。 温度是影响硅棒生长的关键因素,如果在硅棒生长前期就没有控制好温度,也就是在整个生长过程中温度不均匀,就会使硅棒生长的不均匀,特别是横梁部分。这样的话,即使停炉时降温、降料、再均匀,也有可能倒炉。
在硅棒整个生长过程中就控制好温度(横梁温度不能超过1100度)、物料流量等参数,停炉时有一个好的停炉方案,这样就能减少倒炉的几率了! 温度控制很重要,我是做测温的,有关温度测量不准的,请给我直接联系,我的MSN. SIDEVIN0518@HOTMAIL.COM.CN 11楼说的很有道理啊! 受教了 谢谢楼上各位巨巨的分享啊 回复 5# legend9205
倒棒与炉筒水的减少是有关系的,炉筒水的循环会带走棒的热量,让棒冷却的更快,如果此时电流降的也快,就很容易产生裂棒。
我认为停炉过程中主要控制的就是电流、炉筒水、混合气,而且并不能保证不倒棒。
影响倒棒的关键还是生长过程的控制,电流混合气要相匹配,尽量不要让横梁出现温差。 谢谢楼上各位,学习了 回复 12# urga0952
很是同意楼主的说法
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