wulffor 发表于 2009-4-6 14:09:29

请教一下停炉倒棒的问题

改良西门子法
钟罩式生产硅棒在
直径100~140时停炉
电流在1700·1900A
测温仪温度在800~1000度 （不一定准确）
在电流降至1000A到停炉断电这个时间段
硅棒会发生开裂等现象
严重的会导致倒棒
请教一下
这是什么原因引起的？
怎么样才能避免这样的情况发生？
停炉是降电流、降混合气和空烧氢等各个参数应该如何控制？
裂棒是气体给吹裂的吗？
是棒本身长的不致密吗？
还是温度高？
电流降得过快？
小弟急需解决这些问题
在此先谢过！！！！！！！！！

jeffhxi 发表于 2009-4-6 14:15:32

可能是电流降得过快，导致温度变化过大而产生开裂。
电流在降低过程中，由于硅棒本身温度降低，并且气流也会带走热，若温差太大，则会导致大棒龟裂，严重会产生倒棒。

wulffor 发表于 2009-4-6 14:38:23

恩
有道理呀
（我这里的棒到了该停炉的时候横梁温差较大
横梁下部基本上温度较高，电流降慢了就跳闸了很无奈！！）
我也试过
可是如果电流降得慢
硅棒可能会局部温度高
在没有降完电流时
炉内就会打火
电压电流剧烈波动
跳闸
唉！ 好像这个控制尺度很难把握

随心子 发表于 2009-4-12 11:25:01

除了上面极为说的，电流过快，还有是冷却炉筒的水或是油停的过早吧

legend9205 发表于 2009-4-12 16:37:05

随心子说的除了上面极为说的，电流过快，还有是冷却炉筒的水或是油停的过早吧不正取，电流还没断的时候怎么可能关油和水呢？炉筒那么高的温度没有液体冷却是不可想象的。我觉得应该是加压生产（估计已经加到4-5公斤了吧），导致硅棒生长极不均匀，硅棒中间粗、下部和上部细，降温时硅棒温度不均匀，因为硅棒粗的地方电阻小，相同的电流发热少，而下部细，电阻大，发热多，导致降温后期倒炉。关于倒炉问题，是加压生产多晶硅的老大难

wulffor 发表于 2009-4-13 07:39:13

看来五楼也是个业内人士

wulffor 发表于 2009-4-13 07:45:35

我个人认为应该是电流加的过高
停炉是大幅降温
容易出现倒棒

HLJ 发表于 2009-4-13 12:21:16

将电流可以分两个步骤，比如说一千个电流为分界，前期降电流速度慢一点，逐渐释放硅棒应力。同时进料也逐渐降低，慢慢停掉，免得炉温一下子降低，到后期可以降得快同时降低幅度也可以增加。一般如果倒棒不是因为电器问题或者石墨头的原因，而是因为操作问题的话，都可以在实践生产中反复摸索寻找答案的克服问题的

xuzhengwei 发表于 2009-4-20 14:25:41

先降温力度加大点到了后期稳定一下硅棒表面温度 大约在900度后放慢点 到了600读后面可以加快点

happyfatboys 发表于 2009-4-20 15:41:08

主要因为：
电流降的太快。
氢气置换时间不够。
水和热油循环不能停的。
拆炉的时候只停热油不停水。
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