alfredfulei 发表于 2010-9-26 15:33:55

有没有讨论下影响硅棒表面菜花的解决办法

多晶硅沉积速度太快时，硅棒表面容易生长为菜花状，缝隙深度较大时，给后续的清洗工作带来困难，大家讨论下解决办法，有加喷嘴的，加了后是否会带来其他的不好的效果
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