youyuan_2008 发表于 2010-10-12 11:45:42

化学气相沉淀理论

多晶硅生产中运用的是CVD法，但没有接触过CVD理论，现在做都是在生产中摸索，感觉有点盲目，请问大侠们有没有化学气相沉淀理论方面的资料，急求！！！！谢谢

youyuan_2008 发表于 2010-10-16 21:08:25

怎么都没人帮忙
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