wanhongfei 发表于 2010-10-28 12:18:39

多晶硅表面生长出黑色毛刺

各位大虾，最近看到多晶硅生长出黑色的毛刺，将毛刺敲开发现里面有金属光泽，用单一的酸也腐蚀不了。
所以判定是硅的另一种形态，但这种硅是怎样形成的，形成的原因是什么，谢谢了

硅儿子 发表于 2010-10-28 12:20:15

单一的酸是什么酸？

wanhongfei 发表于 2010-10-28 12:43:48

用优级纯的硝酸腐蚀了15分钟吧

cjzhx123 发表于 2010-10-28 13:17:08

问一下，用没用氢氟酸？

梅香浮月 发表于 2010-10-28 13:56:25

应该是无定形硅，形成原因可能是：H2：SiHCl3进料配比小或者是还原炉内温度变化或进料中有液体均会形成。具体原因根据实际生产情况进行判断。
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