dajiahigh 发表于 2010-11-9 20:27:32

关于“硅油”的问题？

收获硅棒后，会发现还原炉炉壁上沉积很多硅油，这个硅油到底是什么成分？对多晶硅生产会产生什么影响？可以用什么方案减轻或者消除影响呢？
大家可以谈谈自己的看法。

dajiahigh 发表于 2010-11-9 21:25:43

我随便说说，大家也给提提意见，有种说法是：硅油是聚氯硅烷，在常温下可以跟空气中的水分发生水解反应生成SiO2，可能会对硅芯表面造成污染。貌似只能经常洗钟罩啊。
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