whgwhg 发表于 2010-11-11 17:27:57

多晶硅还原的高压启动

在高压启动的同时，对还原炉的温度有什么要求吗

guafa58 发表于 2010-11-11 17:37:25

原则上是，在工艺范围内，温度越高越好啊，容易击穿啊

caixiaoming 发表于 2010-11-18 19:44:32

温度低才高压启动，温度要是高就不用高压启动了。
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