ＶＧＲ尾气回收吸附系统的技改
现我们ＶＧＲ尾气回收的吸附系统都是采用用电加热器将氮气加热至２５０度对吸附饱和的吸附柱活化，活化完之后再用用氟利氨深冷的氮气降温至吸附的温度，之后还要用回收的冷氢气对吸附柱内的氮气进行置换。这样从在很多问题：１.氮气在吸附柱内会累积，不可避免的回收氢中会含有微量的氮气，对多晶硅的沉积不利；２.用回收氢气置换氮气花费的氢气量大，时间长；３.用氮气再生‘降温浪费的氮气多（而且氮气的需求纯度高）排出的废气不能回收利用，只能排至淋洗，加大了原料的浪费和淋洗的负荷我觉的我们不妨试一试用氢气替换氮气，这样我们可对活化和冷却降温的氢气回收并入吸收系统，我们只需增加一台小型压缩机将活化的氢气加压送入系统即可，只要顺空能够实现吸附柱有连续的活化操作，提供不断地气源即可！这样将节约成本，节约原料，而且实现真正的闭路回收！
想法是好的值得表扬，但是真正操作起来比较麻烦。 建议楼主去了解下PSA的操作流程 这样的想法一点也不麻烦啊
建议进行改进，这样对降低生产成本很有利啊
我们设计上用的就是氢气反吹
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