多晶硅生产中,氮气的要求是怎么样的
多晶硅生产中,氮气的要求是怎么样的?请教各位一般分1.2MPa,0.6MPa,0.3MPa 三种,主要用于管道与设备的吹扫,置换,另外对与氯硅烷灭火有很好的效果 主要看氧含量和露点,氧含量小于1000ppm,露点-40℃左右 氮气基本就是吹扫和置换作用,另外在硅粉干燥的时候会用到,没有别的太大的用处。 如果有氯化氢合成的话,还需高纯氮气再生分子筛了。 主要是测N2露点,检测含水量 氮气作为保护气。 今晚回去翻下操作规程再告诉你 我记得好像低于0.2‰
但现在生产中没多少人真正关心这个东西 N2 只用来置换第一次开车时测下氧含量和露点就可以
非要追求N2含量的话 太浪费 用氢气去置换N2 达到高纯度的话浪费太多 只是属于保护性气体 只要应用在精馏塔补气,还有氢化还原置换用。要求是0.8MPa(G),到现场了自己减压。制氮露点要求是-70摄氏度,含氧量低于0.1%。基本要求是。
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