三氯氢硅合成控制参数

Dreamer2012 发表于 2010-11-30 09:04:15

大家来讨论一下流化床反应器合成三氯氢硅需要控制的参数有哪些？

阳光媚 发表于 2010-11-30 09:21:11

三氯氢硅合成控制参数可分为：氯化氢预热压缩、烘粉及加料、反应及放空分离、洗涤、重组分回收、三氯氢硅贮存、导热油、热回收、尾气放空洗涤。。等众多系统控制参数

caoyuanlang 发表于 2010-11-30 09:33:18

合成炉主要是反应的温度控制，不能太高，否则副产物的量太大

whitehong 发表于 2010-11-30 10:57:49

主要是温度，控制好循环冷却水的量

caixiaoming 发表于 2010-12-7 21:01:55

温度、压差、导热油流量、循环水流量、硅粉层厚度。

teresa_z 发表于 2010-12-8 11:22:48

流化床反应的控制要点都一样。

Dreamer2012 发表于 2010-12-9 08:50:04

回复 7# teresa_
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