plby88 发表于 2010-11-10 15:10:26

多晶硅中B,P的问题

有一个很小白的问题想问一下，原生多晶硅中含的B、P是会在硅料的某一部分富集，还是大体上均匀的分布在整个的多晶硅中。

caixiaoming 发表于 2010-11-10 15:40:09

大体上均匀的分布在整个的多晶硅中。

dajiahigh 发表于 2010-11-10 18:50:57

应该是均匀的分布在整个多晶硅中的，

benzene 发表于 2010-12-28 22:11:54

是最受关注也是最难控制的。

zhangxh 发表于 2010-12-29 16:00:13

是均已的分布在多晶硅中，所以为了除去它我们一般采用两种方法一种是化学的方法，一种是物理的方法
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