guaiyatou 发表于 2010-12-29 23:10:06

CDI回收氢质量问题

CDI回收氢重含有氮气会影响多晶硅品质，
氮气的来源除了系统置换不彻底遗留下来的，还有哪些？

凌晨零点2010 发表于 2011-1-14 18:22:06

应该从还原来的啊.还原停开置换时置换压力比尾气压力高,氮气通过阀漏过去的啊

luoye888 发表于 2011-1-15 08:26:24

氮气在多晶硅中是会影响质量的，主要表现在参杂上面，PN，氮气一般来源于置换，和泄露。
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