sanvey 发表于 2009-8-20 19:38:38

精馏如何除三氯氢硅中的硼

如题。精馏如何除三氯氢硅中的硼？

ranrui 发表于 2009-8-21 15:07:35

恭请各位能人指教。

tcs1789@163.com 发表于 2009-8-21 18:05:06

要想除三氯氢硅中的硼，你就要再重新上个精馏塔，现在有的单位就上了个新塔，最后硼含量在20—50PPM以内，

Minos 发表于 2009-8-22 01:32:01

要想除三氯氢硅中的硼，你就要再重新上个精馏塔，现在有的单位就上了个新塔，最后硼含量在20—50PPM以内，
tcs1789@163.com 发表于 2009-8-21 18:05

                              
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20—50PPM？数值正确吗......

yuanyao9394 发表于 2009-8-21 18:05:00

最起码的是硅粉预处理中的B就要含量达标，那样精馏中就省事了吧！

pruden 发表于 2009-8-22 09:54:42

本帖最后由 pruden 于 2009-8-31 17:28 编辑
好像硼不是太好出去吧？
因为硼等生产的氯化物与三氯氢硅与四氯化硅等物质沸点都差不多，
在塔中与氯硅烷成共沸物，
若那么简单的就可将硼除掉，
那么多晶硅的纯度将可大幅度提高，
估计那么楼上的几位所在的公司可要大大盈利了

zjiris 发表于 2009-8-31 17:26:03

好像硼不是太好出去吧？
因为硼等生产的氯化物与三氯氢硅与四氯化硅等物质沸点都差不多，
在塔中与氯硅烷成共沸物，
若那么简单的就可将硼除掉，
那么多晶硅的纯度将可大幅度提高，
估计那么楼上的几位所在的 ...
pruden 发表于 2009-8-31 17:26

                              
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正是因为硼不好除，所以说改良西门法的优势就在高纯产品
精馏并不简单的，完全可以把硼提纯至1ppb以下，难得再有比这更好的方法了

zdz2178939 发表于 2009-9-1 09:43:22

哪位大侠听说过多晶硅生产工艺中，三氯氢硅经精馏工艺后，是否存在在进还原炉之前再通过化学反应去除B、P、Fe的工艺！

zjiris 发表于 2009-8-31 17:26:00

这个不知道，只知道有在精馏时通湿氮除硼

tcs1789@163.com 发表于 2009-9-4 11:12:12

都是在进还原炉之前再通精馏来除磷、硼和铁的，没听说有通过有通过化学反应的，有通过化学反应去除杂质的但也不用的三氯氢硅，而是用硅粉生成氮化硅的，然后再生产多晶硅的。
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