没有化学反应除的,应该都是精馏之后就去生产多晶硅了~ 呃............反应精馏,到底是什么过程... 可以加一个高硼物计量罐,分馏塔一般可以将高硼物和二氯二氢硅分离出去的,进入计量罐 反应精馏就是在化学反应的同时用精馏的方法对物质进行提纯的过程,和萃取精馏差不多。不过萃取精馏是加了萃取剂。反应精馏是加入了反应物。应用在两种或多种对挥发度很近的液体物质分离上。 好像硼不是太好出去吧?
因为硼等生产的氯化物与三氯氢硅与四氯化硅等物质沸点都差不多,
在塔中与氯硅烷成共沸物,
若那么简单的就可将硼除掉,
那么多晶硅的纯度将可大幅度提高,
估计那么楼上的几位所在的 ...
pruden 发表于 2009-8-31 17:26
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硼和氯硅烷会形成共沸? 硼磷等杂质通过精馏能除去多少?达到多少PPB? 这个工序是关键工序,属核心机密 我这今年三月份新上了一套除硼装置,就现在来看除硼在100PPB以内,设备也不多,工艺很简单.
没有那么难。当然各位想处理的量更少那可能就有点困难! 我公司正在上一种树脂吸附装置,投资不到一百万(三氯氢硅年产1万吨),技术协议硼在
50PPB以内 原料,就是硅粉中的硼含量控制
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