三氯氢硅精馏中除硼床应用效果讨论

lifayang21 发表于 2010-12-8 08:00:56

各位坛友，你们有用过除硼床去除三氯氢硅中硼吗？效果怎么样？有什么优缺点？

hbzhy1 发表于 2010-12-19 00:51:58

硼床除硼，可简化精馏，减少二氯二氢硅损失，保证多晶硅产品的质量，是发展方向。

阳光媚 发表于 2010-12-19 07:57:03

硼床除硼，可简化精馏，减少二氯二氢硅损失，保证多晶硅产品的质量，是发展方向。
hbzhy1 发表于 2010-12-19 00:51

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楼上能把工艺说得详细点吗？充分交流，共同学习，共同进步。

hht666 发表于 2010-12-19 00:51:00

除硼床里面是除硼树脂吗，根据鳌合原理，请高手解答啊

mao12345 发表于 2010-12-20 14:50:25

除硼树脂比较危险，使用时要慎重。

lifayang21 发表于 2010-12-20 15:23:41

回复 4# hht666
只听说，没见过，不知道什么原理。

lifayang21 发表于 2010-12-20 22:15:05

回复 5# mao12345
请问你们用过吗？效果怎么样？

xxj20003000 发表于 2010-12-21 11:20:53

看不太懂呢，楼主能讲明白点吗

lifayang21 发表于 2010-12-21 15:15:56

回复 8# xxj20003000
我也没见过，我们单位准备上的设备

a922717 发表于 2010-12-21 18:14:48

你是那个公司,上了效果给我们讲讲!!

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